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紅馬資本投資企業(yè)博魯斯潘完成光刻機(jī)物鏡系統(tǒng)超精密加工裝備研發(fā)任務(wù)
就該款光學(xué)加工機(jī)床，下一個(gè)技術(shù)目標(biāo)是突破直徑2000mm，同時(shí)精度達(dá)到0.05微米的光學(xué)加工，為中國(guó)光刻機(jī)母機(jī)等高端光學(xué)產(chǎn)業(yè)做出貢獻(xiàn)。
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